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URE-2000\/17型紫外光刻机
URE-2000\/17型紫外光刻机 价格:150000.00  元(人民币) 产地:上海上海
最少起订量:1 发货地:上海上海
上架时间:2024-03-27 04:47:03 浏览量:79
米歇尔集团上海工程技术有限公司  
经营模式:生产加工 公司类型:股份合作企业
所属行业:变送器 主要客户:石油化工行业
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联系方式

联系人:陈先生 (先生) 手机:15102116866
电话: 传真:
邮箱:michell@email.cn 地址:上海市博园路1333号北虹桥大厦8509室

详细介绍

产品参数
URE-2000/17型紫外光刻机 用途光刻
电压220V
加工定制
品牌鑫有研

紫外光刻机
型号:URE-2000/17
曝光面积:100mm×100mm
分辨力:1.5μm(胶厚2μm的正胶);
对准精度:±1μm
最大胶厚:
掩模尺寸:2.5 inch、3 inch、4 inch、5 inch
样片尺寸:直径Ф15mm--Ф100mm、厚度0.1mm--6mm(可扩展为15mm);
照明均匀性:±5(Ф100mm 范围)
汞灯功率:200W(直流)
掩模相对于样片运动行程:X: ±5mm; Y: ±5mm; θ: ±6°
技术特点:
采用双目双视场显微镜对准;球碗调平,单片机控制,触摸开关,操作方便、实用性强。

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