| 英思特湿法自动/半自动 石英炉管 石英舟 清洗机 全国上门服务 |
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价格：100000 元(人民币) | 产地：本地 |
| 最少起订量：1台 | 发货地：本地至全国 | |
| 上架时间：2020-06-16 15:01:40 | 浏览量：588 | |
江苏英思特半导体科技有限公司
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| 经营模式：生产加工 | 公司类型：私营有限责任公司 | |
| 所属行业：洗涤设备 | 主要客户：半导体 | |
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| 联系人:陈经理 (先生) | 手机:18012437416 |
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1.1 设备概况： 1.1.1 主要功能：设备主要采用人工上下料、机械手自动实现槽体之间转移方式，对2--12英寸石英炉管或其他石英配件进行酸液浸泡、水槽喷洗、水槽溢流漂洗、水槽氮气鼓泡等方式进行处理，从而达到一个优异的清洗效果； 1.1.2 被清洗炉管尺寸（Max）：2--12英寸的石英炉管，； 1.1.3 设备形式：无尘室（class 1000级 fab）内放置型； 1.1.4 清洗时间：0~999MIN（可根据实际工艺时间而定）； 1.1.5 操作形式：触摸屏 自动/手动操作； 1.2 设备组成 1.2.1 该设备主要由壳体部分、槽体部分、管路系统、机械臂机构、排风系统、电控部分及防漏液盘组成； 1.3 设备描述 1.3.1 该设备是一个全自动（清洗）的处理设备； 1.3.2 触摸屏（PROFACE、OMRON）显示 / 检测 / 操作； 1.3.3 清洗工作过程由欧姆龙或三菱PLC 控制； 1.4 设备特性 1.4.1 需要漂洗能力强,性能稳定,安全可靠; 1.4.2 需要设备成本合理,自动化程度高,使用成本低; 1.4.3 设备上层为电器控制系统、机械臂机构及抽风系统，中层为工作区，下层和后下部为管道安装维修区； 1.4.4 设备结构设计必须合理，方便工程师维护、维修，适宜生产线上大批次操作； 1.4.5 机台要求有回收水装置，在排水管路上安装一个三通装置，并在程式中选择排水路径，将水排入纯回水管路或者DHF管路； 1.4.6 配备一个可移动的清洗架，主要用于清洗小件Quartz和boat； 1.4.7 在水槽左右侧壁处需要开溢流口（开关状态可受控制）； 1.4.8 在整台设备的底部装有防漏液盘； 1.4.9 台面网孔设计； 1.4.10 水平调整：通过地脚调整设备水平； 1.4.11 设备移动：设备装有树脂脚轮以备设备移动之用； 1.4.12 上料平台操作面高度：950mm； 1.4.13 操作面门设计：单开门透明的PVC活动门（上下推拉+配重）； 1.4.14 对水槽和酸槽清洗操作流程可自由编写程式，并自动运行； 1.4.15 在水槽两头需要安装水管和气管各一支； 1.4.16 设计内外槽：内槽为酸槽，外槽为水槽；（内外槽，分别有溢流功能） 1.4.17 使用酸液为：49%HF与DIW配比后的HF 1.4.18 各槽材质：酸槽为PVDF（耐化学腐蚀），水槽为NPP（耐腐蚀）； 1.4.19 防漏槽材质为：PP； 1.4.20 机械手臂需要能够上下左右移动（上升时需要有略倾斜功能----左右落差3cm， 将酸液倒出）； 1.4.21 机械手臂需要采用伺服电机控制； 1.4.22 使用的DI WATER和酸液（HF49%）都是由厂务系统提供； 1.4.23 需要日常照明以及alarm信息的存档和查看； 1.4.24 自动清洗流程 人工上料→选择好相应的清洗时间→按AUTO（RUN，door open interlock）键→系统自动移动到酸槽进行酸洗（右边比左边低3CM下行）→等泡酸时间结束系统自动将Quartz提起（右边比左边低3CM上行）→系统自动移动到水槽进行清洗→清洗完成后定位在水槽上方→所有动作完成后蜂鸣器提示（1分钟）→人工下料； |
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