英思特湿法IPA干燥系统 上门地址服务 |
价格:100 元(人民币) | 产地:如皋 | |
最少起订量:1台 | 发货地:如皋 | |
上架时间:2020-07-14 09:24:50 | 浏览量:657 | |
江苏英思特半导体科技有限公司 | ||
经营模式:生产加工 | 公司类型:私营有限责任公司 | |
所属行业:清洗机 | 主要客户:半导体 | |
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IPA 干燥系统 适用于最大尺寸300mm晶圆的干燥技术 ? 优点 NID?干燥系统利用IPA和N2雾化分配,以及晶圆与水脱离时形成了表面张力干燥的技术 适用于最大尺寸300mm晶圆的干燥技术 > 可单台设备或整合在湿法设备中 > 最佳的占地 > 成熟的工艺 > 无水迹 > 无碎片 ? 特征和优点 应用 抛光片、集成电路、MEMES、LED、光伏、玻璃基片 一般特征 > 可同时干燥25到50片直径最大为300mm的晶圆 > 适用于标准高边或低边花篮 ? 规格 工艺时间: 一般< 10 分钟,受所选工艺菜单而变化 亲水性晶圆片: ≤ 10 增加 @ 0.12 μm 疏水性晶圆片: ≤ 30 增加 @ 0.12 μm 金属含量: 任何金属≤ 1?1010 atoms / cm2 增加 干燥斑点: 干燥后无斑点 IPA 消耗量: ≤ 30 ml / run 去边缘: 3 mm ? 图形化的用户界面 > 基于B&R plc > 可编辑菜单 > 自动记录(EOR, ERR etc.) > 多等级密码 ? 一般安装参数 尺寸: 700 x 1500 x 2200 (长 x 宽 x 高) 标准电压: 3 x 380 VAC 额定功率: 50 Hz ? 培训 操作、维护、工艺培训 标准 > CE > FM 4910 ? 可选项 > 层流 > IPA 浓度监测系统 > 热N2 > UPS 组件 ? 可靠性 > 平均故障间隔时间 ≥ 800 h > 辅助平均间隔时间 ≥ 300 h ?> 可运行时间 ≥ 97 % ? |
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