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德国MLase准分子激光器MLI-500,ArF、KrF光源光刻机专用激光器
德国MLase准分子激光器MLI-500,ArF、KrF光源光刻机专用激光器 价格:30000  元(人民币) 产地:德国
最少起订量:1 发货地:北京顺义区
上架时间:2022-12-08 11:32:12 浏览量:1186
北京汉达森机械技术有限公司  
经营模式:经销商 公司类型:私营独资企业
所属行业:其他行业专用设备 主要客户:国内各大工业生产企业和设备制造商
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详细介绍

德国MLase准分子激光器MLI-500,ArF、KrF光源光刻机专用激光器

 

MLI 系列由具有直接波长的准分子激光器组成,适用于工业应用。当然,我们可以调整我们的基本设备以满足您的个性化需求。

MLase 的现代紧凑型 MLI 准分子激光器是波长为 193 nm 或 248 nm 的紫外光源,具有高达 16 mJ 的高脉冲能量和高达 1,000 Hz 的脉冲重复频率。

它们是市场上使用寿命最长、可靠性、运营成本低的独立设备。它们均匀的钢型材和能量稳定性使它们非常适合要求苛刻的应用。

我们的LC准分子激光系统还能够进行主动水冷却(使用生活用水或外部热交换器;无需纯净水),以实现稳定的连续运行。

 

 

常用型号:

MLI-200

MLI-500

MLI-1000

参数介绍:

参数

ArF

ArF

ArF

KrF

KrF

KrF

波长(纳米)

193

193

193

248

248

248

脉冲重复频率(赫兹)

200

500

1000

200

500

1000

稳定的脉冲能量 (mJ)

6

6

6

10

10

10

稳定平均功率 (W)

1,2

3,0

6,0

2,0

5,0

10

脉冲稳定性(标准偏差%)

2

2

2

2

2

2

光束宽度(FWHM,VxHmm)

6×3

6×3

6×3

6×3

6×3

6×3

光束发散(FWHM,VxHmm)

2×1

2×1

2×1

2×1

2×1

2×1

脉冲长度

5-10

5-10

5-10

5-15

5-15

5-15

德国MLase准分子激光器MLI-500,ArF、KrF光源光刻机专用激光器

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