臭氧发生器的工作原理主要基于高压电离和氧分子的再组合过程。

具体来说，臭氧发生器内部通常含有两个电极，其中一个电极有较高的电压。当空气通过这些电极时，空气中的氧分子（O?）被电离，形成氧离子（O?）和自由电子。这些氧离子很快与自由电子结合，形成氧分子（O?），同时释放能量。在臭氧发生器的反应室中，氧分子（O?）进一步经历电离和再组合的过程，从而生成臭氧分子（O?）

此外，还有其他几种产生臭氧的方法，如电晕放电和电解法。电晕放电臭氧发生器通过干燥的O?或含氧气体穿过电弧放电区，利用高频高压线路产生臭氧。电解式臭氧发生器则运用水电化学氧化法，在含有凝固莹光阳离子电解质的水中产生臭氧。

总的来说，臭氧发生器的工作原理是利用高压电力或化学反应，使空气中的部分氧气分解后聚合为臭氧，是氧的同素异形转变的一种过程。