| RBZ-SG系列精密Z轴 |
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价格： 元(人民币) | 产地：本地 |
| 最少起订量：1台 | 发货地：本地至全国 | |
| 上架时间：2024-04-23 15:08:45 | 浏览量：53 | |
北京瑞邦精控科技有限公司
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| 所属行业：仪器仪表加工设备 | 主要客户：高校，企业，科研单位 | |
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产品特点
l ? 垂直平升行程可达50mm，整体尺寸结构紧凑，速度可达20mm/s，最大负载60kg l ? 高精度交叉滚柱导轨，无槽无刷力矩电机，低膨胀系数光栅有助实现纳米级微动步距 l ? 高可靠性驱动机构，使用寿命长
应用领域 RBZ-SG系列是一款长行程的精密平升Z轴，具有纳米级微动步距，高动态性能，结构紧凑，用于晶圆加工及检测、飞秒激光加工、测试测量、生物工程等高精度行业。
结构特点 RBZ-SG系列直驱结构，承载能力大，在一个长行程的移动范围，保持尽可能低的高度，优化阿贝误差影响，有助于提高整体精度性能。抗蠕变交叉滚柱导轨垂直导向，为提升直线度、Pitch Roll Yaw指标提供创新解决方案。
直驱结构 力矩电机作为直驱方式，没有皮带、齿轮、蜗轮蜗杆和弹性联轴器中间传动环节，RBZ-SG平升Z轴直接托举负载运动，相对侧升结构Z轴，无需转接板，负载重心布置在Z轴中心，有利于运行过程减小俯仰和偏摆的影响。
光栅闭环反馈 RBZ-SG平升Z轴为双闭环反馈，直线光栅和圆光栅相结合的双反馈方式，直接测量工件移动时的误差，提高了精度性能。
规格指标
注： 以上为单轴精度指标，在洁净间内测试，温度20℃±1℃，湿度40%~60%RH，振动等级VC-E，测试点在负载板上25mm处 |
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