QFL-XY系列双轴气浮运动台 |
价格: 元(人民币) | 产地:本地 | |
最少起订量:1台 | 发货地:本地至全国 | |
上架时间:2024-04-23 15:12:29 | 浏览量:41 | |
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产品特点
l ? 开式气浮叠层结构 ? 结构紧凑、精度高 l ? 重复定位精度±50nm ? 直线度±0.1μm,平面度±0.15μm ? 根据需求可定制 ? 高柔线缆管理
应用领域 QFL-XY系列是一款结构紧凑的双轴气浮运动台,用于飞秒激光加工,超精密加工、测试测量、高精度扫描、半导体及光子学等行业,由于非接触式运动,精度高和结构紧凑是行业内的理想选择。
结构特点 双轴气浮运动台采用开式气浮导轨,直线电机和光栅尺组成,永磁预载结构,XY轴叠层具有体积小,精度高、工作点低等特点,能有效降低阿贝误差。X轴比Y轴宽,作为底轴,整体性能更稳定。非接触式气浮结构,免维护运行,随着时间推移,不会出现磨损或性能下降。
精度性能 QFL-XY轴双轴气浮运动台的定位精度±0.1μm,双向重复定位精度±50nm,直线度±0.1μm,平面度±0.15μm,Pitch Yaw ±0.5arc sec,以上为全行程精度指标,由于非接触式运动结构,气浮运动台的跟随误差有了质地提升,精度性能得到显著提高。
线缆管理 使用高质量的高柔排线和气管,线管弯曲半径产生的扰动力影响可忽略不计,运动中线缆和气管不影响气浮运动台的性能。此外,可提供带屏蔽高柔线缆,提供系统抗干扰能力。
定制化 根据应用,结构可定制化设计,如增加平升或楔形Z轴,转台等。可配置大理石基座、立柱及横梁,XY轴安装到大理石基座上,Z轴安装桥架上。可选配主动隔振系统,适合高抖动的应用领域。 规格指标
注: 以上为单轴精度指标,在洁净间内测试,温度20℃±0.5℃,湿度40%~60%RH,振动等级VC-F,测试点在负载板上25mm处,测试速度10mm/s,Renishaw激光干涉仪测量及自带分析方法,多轴系统精度测试与负载尺寸及测试点高度有关,环境的变化会导致精度变化,如要求非标准测试,请咨询我们。 1. Plus值为高精度指标,是标准值的升级版。 2. 取决于平台安装表面的平面度。 3. 电子分辨率取决光栅尺及控制器的细分倍数。 |
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