| RBN-XY系列双轴精密运动台 |
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价格： 元(人民币) | 产地：本地 |
| 最少起订量：1台 | 发货地：本地至全国 | |
| 上架时间：2024-04-24 11:35:50 | 浏览量：53 | |
北京瑞邦精控科技有限公司
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| 所属行业：仪器仪表加工设备 | 主要客户：高校，企业，科研单位 | |
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产品特点
l ? 紧凑式直驱结构 ? 重复定位精度±50nm l ? 抗蠕动交叉滚柱导轨 ? 直线度和平面度±0.5μm l ? 微动步距≤2nm ? 可定制高真空版本
应用领域 RBN-XY系列是一款高精度的双轴精密运动台，具有纳米级微动步距，亚微米级重复定位精度，高动态性能，结构紧凑，用于飞秒激光加工、光学制造及检测、测试测量、半导体、光纤对准和科研等领域。
结构特点 三片式叠层结构设计，有效地降低工作点的高度，减小阿贝误差对系统精度的影响。直线电机驱动，具有零齿槽、高动态性能及电流噪声小等特点。运动台在低速运动时保持平稳，在高速状态不会产生振动。抗蠕动交叉滚柱直线导轨，滚柱间线线接触，运动平稳，交叉排列，多方向受力稳定。
精度性能 非接触式光栅尺闭环反馈，通过结构设计、材料选择、加工工艺、装配方法等综合把控，获得高精度指标，定位精度±0.1μm，双向重复定位精度±50nm，直线度和平面度±0.5μm。
微动步距 对有微动步距要求的应用领域，如最小步距运动、对准应用等，微动步距≤2nm，对现场使用环境的要求，更多细节可联系瑞邦精控。
定制化 可定制高真空环境下的版本，真空度10^-7Torr；定制最大加速度，多轴结构等；根据应用可配置大理石基座、支撑钢架、隔振台等整套运动控制方案。 规格指标
注： 以上为单轴精度指标，在洁净间内测试，温度20℃±1℃，湿度40%~60%RH，振动等级VC-E，测试点在负载板上25mm处，测试速度10mm/s，Renishaw激光干涉仪测量及自带分析方法，多轴系统的精度测试与负载尺寸及测试点高度有关，环境的变化会导致精度变化，如要求非标准测试，请咨询我们。 1. Plus值为高精度指标，是标准值的升级版。 2. 取决于平台安装表面的平面度。 3. 电子分辨率取决光栅尺及控制器的细分倍数。 4. 空载条件下的精度指标，速度和加速度取决于负载大小。
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