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RBN-200XY-150Z-AB五轴精密运动台
RBN-200XY-150Z-AB五轴精密运动台 价格:  元(人民币) 产地:北京顺义区
最少起订量:1 发货地:本地至全国
上架时间:2024-04-28 11:56:33 浏览量:40
北京瑞邦精控科技有限公司  
经营模式: 公司类型:
所属行业:仪器仪表加工设备 主要客户:高校,企业,科研单位
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联系方式

联系人:王欣悦 (小姐) 手机:18145668702
电话: 传真:
邮箱:490748999@qq.com 地址:

详细介绍

产品特点 

l ?  直线轴行程200mm*200mm*150mm (XYZ)

l ?  旋转轴行程±90°*360°(AB轴)

l ?  XYZ交叉滚柱导轨,纳米级定位纹波

l ?  AB轴气浮转台,亚微米跳动误差

l ?  优化线缆管理系统

l ?  结构、行程可定制

 

应用领域

RBN-200XY-150Z-AB五轴精密运动台用于曲面飞秒激光加工。

 

产品简介

XY轴采用防蠕动十字交叉滚柱导轨导向,直线电机驱动及光栅尺闭环反馈,XY轴平面式结构,最大限度降低高度,减小系统误差影响;此外XY轴可定制抱闸功能,抱闸位置漂移可控制在10nm内。

Z轴直驱力矩电机驱动,交叉滚柱导轨导向及光栅尺闭环反馈,获得纳米级定位纹波;

AB轴气浮轴承、力矩电机驱动及光栅尺闭环反馈,闭式气浮结构,对结构进行优化设计,气浮轴承表面和创新的预压高刚度,侧向放置承载能力大,解决气浮抱死的问题。优秀的轴向跳动误差、径向跳动误差和倾角误差,使AB轴正交2~10arc sec,轴向线重合度2~10μm。

大理石机体因强度大、硬度高、不生锈、耐腐蚀性、耐磨性及稳定性好,应用于运动台上质量可靠,品质有保障。大理石做模态分析,优化结构尺寸,可依据客户的要求做最终设计。


规格指标

轴系

测试项目

单位

指标要求

实测指标

X

行程

mm

200

200

补偿后定位精度

μm

±0.5

±0.07

双向重复定位精度

μm

±0.15

±0.05

直线度

μm

±1.5

±1.1

平面度

μm

±2

±0.45

工作速度

mm/s

100

100

Y

行程

mm

200

200

补偿后定位精度

μm

±0.75

±0.15

双向重复定位精度

μm

±0.25

±0.04

直线度

μm

±1.5

±1.2

平面度

μm

±4

±0.9

工作速度

mm/s

100

100

A

行程

°

±90

±90

补偿后定位精度

arc sec

±2

±0.4

双向重复定位精度

arc sec

±1

±0.15

轴向跳动误差

μm

0.5

0.2

径向跳动误差

μm

0.5

0.3

工作速度

°/s

40

40

B

行程

°

360

360

补偿后定位精度

arc sec

±2

±0.4

双向重复定位精度

arc sec

±1

±0.2

轴向跳动误差

μm

0.5

0.1

径向跳动误差

μm

0.5

0.3

工作速度

°/s

40

40

Z

行程

mm

150

150

补偿后定位精度

μm

±0.5

±0.4

双向重复定位精度

μm

±0.1

±0.06

直线度

μm

±1

±0.05

平面度

μm

±1

±0.35

工作速度

mm/s

50

50

XYAB

负载

kg

1

1

Z

负载

kg

20

20

 

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